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亚微米级微进给驱动器的研制

  
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亚微米级微进给驱动器的研制

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目录
第一章 绪论 1
1.1课题的研究背景及意义 1
1.2国内外微进给驱动器的研究现状 2
1.3微位移机构的介绍 2
1.4课题研究的主要内容 4
1.5方案合理性分析 5
第二章 几种微进给驱动器 5
2.1 常见微进给驱动器 5
2.1.1 机械式微进给机构 9
2.1.2 电磁式微进给机构 9
2.1.3 压电式微进给机构 11
2.1.4电热式微进给机构 12
2.1.5 直线电机式微进给机构 13
2.1.6 液压式微进给机构 14
2.1.7 弹性式微进给机构 14
2.2几种新型微进给驱动器 14
2.2.1 形状记忆合金(SMA) 微进给机构 15
2.2.2 石蜡微量进给驱动器 16
2.2.3 多自由度微量进给驱动器 17
2.3 本章小结 17
第三章 微驱动器的设计 17
3.1 压电纤维的介绍 17
3.2 微位移驱动器设计 19
3.2.1 驱动器结构设计基本原则 19
3.2.2 微驱动器位移输出原理方案选择 19
3.2.3 导轨形式的选择 21
3.2.4 其他机构设计 21
3.3 微驱动器的精度及表面粗糙度设计 22
3.3.1 机构主要零件精度确定基本原则 22
3.3.2 机构主要零件精度确定 23
3.3.3 机构主要零件表面粗糙度确定 23
3.4 压电效应 23
3.4.1 压电效应简介 24
3.4.2 压电效应机理 24
3.4.3 正压电效应 24
3.4.4 逆压电效应 25
3.5 MFC有限元分析过程 26
3.6 本章小结 28
第四章 微驱动器的性能实验 28
4.1实验设备的介绍 28
4.1.1 驱动电源的选择 28
4.1.2 测量仪器的选择 29
4.1.3 固定装夹部件的选择 31
4.2 微驱动器的性能实验与分析 32
4.2.1 驱动器输入-输出特性实验分析 33
4.2.2 驱动器重复定位特性实验分析 35
4.2.3 驱动器迟滞特性实验分析 38
4.2.4 驱动器输出位移蠕变特性实验分析 43
4.3本章小结 43
第五章 研究结论与展望 43
5.1研究结论 43
5.2方案经济可行性分析 44
5.3 展望 45
致谢 46
参考文献 47








摘要 精密制造与测量以及显微操作技术已逐渐成为实现先进制造的重要技术,其中高精度的定位技术是实现先进制造的基础技术和关键技术之一,在近代工业生产和众多科学研究领域内都有着非常重要的地位。微位移驱动器是实现精密定位的功能部件,同时也是核心部件,故随着精密定位技术的不断发展,我们需要致力于新型微位移驱动器的驱动机理与应用基础的研究,以满足现代先进制造产业对精密定位技术的要求。
本文基于对国内外微位移驱动器的广泛研究采用压..
  
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