微细加工技术发展综述.doc
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微细加工技术发展综述,摘要：本文通过对微细加工的概念，特点，和微细加工在国内国外的发展情况，以及微细加工的部分工艺的描述，使我们对微细加工又一个新的认识，并且认识和了解我们国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我们国家微细加工型业的发展。关键词：微细加工技术，工艺，精密和超精密加工技术，激光技术。相关技术：精密和超精密加工技术，纳米技术。
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摘要：
本文通过对微细加工的概念，特点，和微细加工在国内国外的发展情况，以及微细加工的部分工艺的描述，使我们对微细加工又一个新的认识，并且认识和了解我们国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我们国家微细加工型业的发展。
关键词：微细加工技术，工艺，精密和超精密加工技术，激光技术。
相关技术：精密和超精密加工技术，纳米技术。
本文通过对微细加工的概念，特点，和微细加工在国内国外的发展情况，以及微细加工的部分工艺的描述，使我们对微细加工又一个新的认识，并且认识和了解我们国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我们国家微细加工型业的发展。
关键词：微细加工技术，工艺，精密和超精密加工技术，激光技术。
相关技术：精密和超精密加工技术，纳米技术。
