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脉冲激光沉积法(PLD)制备非晶态BZN薄膜的研究1.7万字 44页包括详细设计图纸摘 要Bi2O3-ZnO-Nb2O5(BZN)系列焦绿结构陶瓷由于具有适中的介电常数和低的介电损耗而广泛用于低温烧结多层陶瓷电容器和微波介质器件中。近年来,研究者发现BZN薄膜具有很好的微波介电可调特性,使得BZN体系在可变频率微波集成器件等方面有广阔的应用前景,成为学术界和产业界竞相研究的热点。本文采用脉冲激光沉积法(PLD)在镀Pt底电极的Si基片..